鈦強(qiáng)制循環(huán)泵零件的電源和性能

  鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的電源是高內(nèi)阻電源，空載輸出電壓在3-7kv之間，但負(fù)載電流大時輸出電壓下降到400V V左右，一般循環(huán)泵采用5KV倍壓整流電源。通過流經(jīng)鈦強(qiáng)制循環(huán)泵陽極和陰極的放電電流可以反映出被抽空間的真空度。循環(huán)泵在額定電壓和磁場強(qiáng)度下的放電電流Iion(mA)與壓強(qiáng)P(Torr)有一定的曲線關(guān)系。因此，循環(huán)泵的電源可以反映壓力。

泵電源面板顯示:輸出DC高壓、鈦強(qiáng)制循環(huán)泵放電電流等。

(1)極限壓力:10-8 Pa

(2)泵送速度:

  鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的抽速與陽極電壓和磁場強(qiáng)度有關(guān)。磁場強(qiáng)時，抽氣速度也高，較好的抽氣速度對應(yīng)的陽極電壓也高。常用鈦強(qiáng)制循環(huán)泵的抽速有25升/秒和5升/秒。對于需要大抽速的場合，抽速可達(dá)50 L/s、100 L/s等。通過并聯(lián)連接基本結(jié)構(gòu)單元。

(3)啟動壓力:10-2 Pa

(4)壽命

a、陰極耗盡壽命

  陰極鈦板因濺射穿透而不能使用。

b、陽極剝離壽命

  當(dāng)沉積在陽極上的鈦膜厚度過大時，就會剝落，導(dǎo)致泵內(nèi)壓力發(fā)生不規(guī)則而強(qiáng)烈的變化，使泵無法使用。

c、陽極飽和壽命

  大量的氦氣和氫氣被吸附溶解在陽極上，達(dá)到飽和時泵就不能再吸附氣體了。

  在正常使用情況下，循環(huán)泵的使用壽命可達(dá)數(shù)萬小時。